シリコン評価技術、国際標準化目指す

　省エネ社会の到来でパワー半導体の需要拡大が予測される中、パワー半導体向けシリコン結晶の評価技術を国際標準化する試みが、日本で始まっている。新金属協会内に設立された「半導体サプライチェーン材料規格研究会」（略称Ｍ4Ｓ）を中心に、シリコンウエハー中の炭素濃度を高感度に測る共通手法などを検討する。標準化によって結晶メーカーの販路拡大、半導体メーカーの購買力向上を狙う。