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2003年05月02日
九州三井アルミニウム工業(本社・福岡県大牟田市、川井洋一社長)は、高純度アルミをベースにした超硬質アルマイト皮膜(陽極酸化皮膜処理)電極を開発、本格市販を開始した。プラズマでエッチング加工している半導体装置のアルミ電極(陽極)は酸化皮膜処理がされているが、ベース金属のアルミに不純物や添加合金が含まれているため、耐用時間が短かった。
三井アルミは、99・99%の高純度アルミを使用することで、耐用時間を従来の合金ベースの酸化皮膜処理電極に比べ、2―3倍延ばすことに成功した。ウエハーへの汚染物質の飛散防止効果もあり、トータルコスト削減にも貢献するとしている。
三井アルミは、99・99%の高純度アルミを使用することで、耐用時間を従来の合金ベースの酸化皮膜処理電極に比べ、2―3倍延ばすことに成功した。ウエハーへの汚染物質の飛散防止効果もあり、トータルコスト削減にも貢献するとしている。
トステムは、100%出資子会社「セキュリティトステム株式会社」(本社=東京都江東区大島1―9―8大島プレールビル4階、広渡正明社長、資本金1億円)を設立し、今月から東京・神奈川・埼玉・千葉の1都3県でトステムの販売ルートを通じ、営業開始した。販売地域は順次拡大し、10月から全国展開する。初年度売上高目標は、3億円を見込む。
インジウム価格の値上がりが続いている。ロンドンのスポット価格はキロ当たり140―170ドルと、4月24日時点から15%程度上昇した。昨年12月から50%を上回る上昇率を示しており、FPD(フラットパネルディスプレー)の透明導電膜に使うITO(インジウムと錫の酸化物)ターゲット材メーカーは相次いで値上げを表明している。
インジウムは鉛や亜鉛の副産物として生産される。このため、最大手のメタルヨーロッパが一部で亜鉛製錬を中止したことで供給不安が台頭。さらに中国の亜鉛鉱山の閉山も加わり価格が急騰した。
インジウムは鉛や亜鉛の副産物として生産される。このため、最大手のメタルヨーロッパが一部で亜鉛製錬を中止したことで供給不安が台頭。さらに中国の亜鉛鉱山の閉山も加わり価格が急騰した。