2021年6月17日

ノベルクリスタル 酸化ガリウム100ミリエピウエハー量産

 ノベルクリスタルテクノロジー(本社=埼玉県狭山市、倉又朗人社長)は16日、次世代パワー半導体材料の酸化ガリウムの100ミリエピタキシャルウエハー開発に成功し、同日より販売を開始したと発表した。従来の2インチ(50・8ミリ)エピ高品質化技術を応用し、100ミリエピ成膜装置を開発。10アンペアの酸化ガリウム半導体パワーデバイスを80%の歩留まりで製造できるという。酸化ガリウムの実用化につながりパワーデバイスの電力損失抑制を実現することで、地球温暖化対策への貢献が期待される。

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