ノベルクリスタル 酸化Gaウエハー年販1万枚に

酸化ガリウム基板・エピタキシャルウエハーを手掛けるノベルクリスタルテクノロジー（本社＝埼玉県狭山市、倉又朗人社長）は2022年度までに酸化ガリウムウエハーの販売を年1万枚に拡大する方針だ。酸化ガリウム基板を用いたショットキーバリアダイオード（ＳＢＤ）の量産体制の構築を進め、3―4年間で20億円程度の設備投資を予定する。主力の4インチ酸化ガリウム基板の生産能力を2倍とするほか、4インチエピウエハーの生産能力を約10倍に引き上げるという。