ＪＸ金属 ＣＶＤ・ＡＬＤ材 供給強化 次世代半導体向け

JX金属は23日、次世代半導体向けCVD（化学気相成長法）・ALD（原子層堆積法）材料の供給体制を強化したと発表した。足元の急速な需要立ち上がりに応えるためで、東邦チタニウム茅ケ崎工場敷地内の生産設備を増強。生産キャパを増やすとともに、設備改善や省人化も進めた。今月からフル操業を始め、生産量は従来比で50％増える。さらに、茨城事業所（日立地区）も生産設備の導入を進めており、設備が立ち上がれば国内生産量は現在の3倍になる。今秋以降に完了する予定で、今後見込まれる一層の需要拡大に応える。