アサカ理研　成膜装置洗浄サービス　検査自動化

アサカ理研は、成膜装置の精密洗浄ビジネスで、検査工程の自動化に着手する。現在は成膜装置に付着した余分な貴金属などを除去し傷なく洗浄されたか、作業者が目視で検査している。これをロボットやＡＩ（人工知能）を活用した検査機で自動化し、既存事業の生産性の向上を図る。今期（2025年9月期）中にプロトタイプを導入し、2―3年のうちに同サービスの検査工程の7―8割を無人操業としたい考えだ。