三井金属のレアメタル溶液材料　黒鉛部材にＴａＣコート　被膜形成技術を開発

三井金属は25日、レアメタル溶液材料シリーズ「ｉｃｏｎｏｓ（イコノス）」を用いたＴａＣ（炭化タンタル）コートで、溝や孔、凹凸などを有する複雑形状の黒鉛部材に適用できる薄膜コーティング技術を開発したと発表した。液体材料が黒鉛基材表面で均一に反応するため、薄く緻密なＴａＣ被膜を形成する。半導体結晶成長装置に使う複雑形状部材の長寿命化に貢献する。