ノベルクリスタル 酸化ガリウム100ミリエピウエハー量産

　ノベルクリスタルテクノロジー（本社＝埼玉県狭山市、倉又朗人社長）は16日、次世代パワー半導体材料の酸化ガリウムの100ミリエピタキシャルウエハー開発に成功し、同日より販売を開始したと発表した。従来の2インチ（50・8ミリ）エピ高品質化技術を応用し、100ミリエピ成膜装置を開発。10アンペアの酸化ガリウム半導体パワーデバイスを80％の歩留まりで製造できるという。酸化ガリウムの実用化につながりパワーデバイスの電力損失抑制を実現することで、地球温暖化対策への貢献が期待される。