昭和電工、世界最大直径６インチ量産 SiCエピウエハー拡販

昭和電工は30日、パワー半導体の材料である炭化ケイ素（ＳｉＣ）エピタキシャルウエハー（以下エピウエハー）で、世界最大となる直径6インチ（150ミリメートル）品の量産化技術を確立したと発表した。また、4インチ（100ミリメートル）品においても低欠陥化を進め、均一性を向上させた新グレード製品の開発を完了。両製品とも、今月から販売を開始する。今後は4インチ品換算で月産能力を、現在の1500枚から2014年前半に2500枚相当まで引き上げ、ＳｉＣパワー半導体の拡販を図っていく。