ノベルクリスタル、酸化ガリ単結晶に新手法

　ノベルクリスタルテクノロジー（本社＝埼玉県狭山市、倉又朗人社長）などは、垂直ブリッジマン（ＶＢ）法による直径6インチβ型酸化ガリウム単結晶の作製に世界で初めて成功したと発表した。同社は現在、ＥＦＧ法という結晶製造法を用いているが、コストや品質向上に課題があった。ＶＢ法により大口径化・低コストに加え、ＥＦＧ法の課題だった高密度の直線状欠陥を抑制した酸化ガリウム基板が製造できた。酸化ガリウムパワーデバイスの普及と、その活用による省エネルギー社会を目指す。